Ziel dieser Diplomarbeit ist es, Molybdändisulfid-Schichten (MoS2) mit dem Laserpulsabscheidungsverfahren (PLD) herzustellen sowie die Eigenschaften dieser Schichten mit Hilfe geeigneter Untersuchungsmethoden zu charakterisieren. Des Weiteren sollen die Schichten Molybdändisulfid und superharter amorpher Kohlenstoff (ta-C) auf ihre tribologischen Eigenschaften in Bezug auf Reibungskoeffizient- und Verschleißverhalten sowie die Haftfestigkeit näher analysiert werden. Außerdem erfolgen tribologische Untersuchungen zur Reduzierung des Reibungskoeffizienten durch eine in ta-C eingebrachte Mikro- bzw. Nanostruktur sowie durch eine Modifikation der ta-C Schichtoberfläche.
In dieser Arbeit werden die Ergebnisse von grundlegenden Untersuchungen zur Erzeugung von metallischen Schichten und Nanometerschichtstapeln mittels Laserpulsabscheidungsverfahren (PLD) vorgestellt. Für die Erzeugung des schichtbildenden Teilchenstromes durch Ablation der Festkörpertargets wurde ein KrF-Excimerlaser mit einer Wellenlänge von 248 nm verwendet. Durch Variation der Abscheidungsparameter Laserpulsfluenz und Laserstrahlquerschnitt wurden die Oberflächeneigenschaften von dünnen Metallschichten für die Erzeugung von spintronischen Schichtstapeln optimiert.
Die Abhängigkeit der materialspezifischen Schichteigenschaften Abtragsrate pro Laserpuls, Schichtaufwachsrate, Oberflächenrauigkeit, Partikulatflächendichte, Schichtdickenverteilung, Schichtdickenhomogenität und Mikrostruktur von den Abscheidungsparametern werden vorgestellt. Unter Nutzung der optimierten Prozessparameter konnten spintronische Metallschichtstapel hergestellt werden. Für die Verbesserung der Schichtdickenhomogenität von laserpulsablatierten Schichten wurde ein xy-Substrat-bewegungssystem konzipiert und dessen technische Realisierung verwirklicht.