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Realisierung eines Pin-Testers zur Identifikation von Schnittstellen für forensische Auswertungen
(2018)
Die vorliegende Bachelorarbeit befasst sich mit der Realisierung eines Pin-Testers unter Einsatz eines Analog Devices, mit deren Hilfe Schnittstellen erkannt werden können. Dazu wird eine geeignete Software und ein angemessenes Messverfahren angewendet, um sogenannte Kennlinien von Pins aufzunehmen. Anhand der Kennlinien sollen Schnittstellen erkannt werden. Im Gegensatz zu kommerziellen Produkten wird hier das Analog Device ADALM1000 verwendet, das eine kostengünstige Alternative darstellt. Damit lassen sich andere analoge Systeme testen und ausmessen. Durch seine geringe Größe ist es für den praktischen und dynamischen Einsatz gut geeignet.
Die Kohärenztomographie im eXtremem Ultraviolettbereich (XCT) ist eine neue Methode zur 3D-Vermessung von Nanostrukturen mit Nanometer-Auflösung. Sie verwendet das interferometrische Prinzip der optischen Kohärenztomographie
(OCT) um mittels Fourier-Transformation Strukturinformationen zu extrahieren. Ein speziell entwickelter Phasenrekonstruktionsalgorithmus (PR-XCT) ermöglicht artefaktfreie XCT. Experimentell wurden axiale Auflösungen von 24 nm erreicht, laterale Auflösungen von etwa 23 μm und hohe Materialempfindlichkeit. Der PR-XCT-Algorithmus erlaubt quantitative Informationen und markierungsfreie Identifizierung vergrabener Strukturen im Nanometerbereich. Optimierung der Modellparameter ermöglicht zusätzliche Erkenntnisse über Oberflächenrauhigkeit und Schichtdicken.