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- Master's Thesis (1) (remove)
Year of publication
- 2019 (1)
Language
- German (1)
Keywords
- Dünne Schicht (1)
- Kohlenstoff (1)
- Schichtdicke (1)
Institute
Diese Arbeit beinhaltet eine detaillierte Dokumentation für eine Simulation zum Ermitteln der Schichtddickenverteilung von mittels PLD hergestellten Kohlenstoffschichten. Des Weiteren wurden im Ramen dieser Arbeit Versuche zum Herstellen von ta-C-Schichten bei rotierendem Substrat durchgeführt und dabei speziell der Einfluss von mit der Rotationsgeschwindigkeit verbundenen Subplantationseffekten untersucht.