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Maskenentwurf parametrisierbarer optoelektronischer Bauelemente einschließlich Entwurfsregelprüfung
(2017)
In diesem Projekt wird die Erstellung eines Satzes lithographischer Masken für die Halbleiterbearbeitung behandelt. Als Basis dient ein gut verstandenes Bauelement aus dem Bereich der Optoelektronik, eine Fotodiode. Diese wird im Rahmen des Diplomprojektes parametrisierbar entwickelt und entworfen sowie programmiert. Der Entwurf wird dann auf der Grundlage zu definierender Regeln einer Entwurfsregelprüfung unterzogen. Ziel dieser Arbeit ist es, die technologischen sowie funktionalen Regeln im Programm abzubilden.