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Fluorlaser-Mikrobearbeitung von ausgewählten Materialien

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Metadaten
Author:René Bertram
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-592
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2009/10/05
Release Date:2009/10/05
GND Keyword:Lithographie <Halbleitertechnologie>; Fluorlaser
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
DDC classes:620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Open Access:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG