Großflächige ultraschnelle Mikrobearbeitung mit multiplen Laserspots
- Ultrakurzpuls-Laser haben sich in den vergangenen Jahren weit verbreitet, um hochpräzise Mikrostrukturen direkt in nahezu jedem Material zu realisieren. Trotz der derzeitigen Verfügbarkeit von UKP-Hochleistungslasern (bis zu mehreren hundert Watt) ist es immer noch eine Herausforderung, große Flächen, wie sie für Prägezylinder für Rolle-zu-Rolle Anwendungen benötigt werden, in einer für die industrielle Produktion akzeptablen Bearbeitungszeit zu strukturieren. In diesem Beitrag wurde ein hochkompakter ps-Laser mit Repetitionsraten von bis zu 8 MHz und einer mittleren Leistung von 500 W durch ein diffraktives optisches Element (DOE) auf 16 parallele Strahlen verteilt. Die Leistung wurde durch einen akusto-optischen Modulator pro Strahl moduliert. Integriert in ein ultrahochpräzises Zylindergravursystem wurden die 16 Spots mit einer Genauigkeit von < 1 μm synchronisiert. Auf der Zylinderoberfläche wurden in einem Spot-zu-Spot Abstand von 20 μm Einzelspotdurchmesser von 13 μm erreicht. Verschiedene funktionale Mikrostrukturen wurden als Master realisiert.
Author: | Stephan Brüning, Keming Du, Arnold Gillner |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-128561 |
DOI: | https://doi.org/10.48446/opus-12856 |
ISSN: | 1437-7624 |
Parent Title (German): | 12. Mittweidaer Lasertagung |
Publisher: | Hochschule Mittweida |
Place of publication: | Mittweida |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | German |
Year of Completion: | 2021 |
Publishing Institution: | Hochschule Mittweida |
Contributing Corporation: | Schepers GmbH & Co. KG Vreden |
Release Date: | 2021/12/08 |
Tag: | 3D Mikrostrukturen; Oberflächenfunktionalisierung; Rolle zu Rolle Prägung Multi Spot Processing |
GND Keyword: | Nanoprägen; Tiefdruck; Ultrakurzzeitlaser; Diffraktives optisches Element; Akustooptischer Modulator |
Issue: | 003 |
Page Number: | 8 |
First Page: | 048 |
Last Page: | 055 |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |