Untersuchungen zur Laserstrukturierung mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung im Burstmodus mit Variation der Pulsanzahl sowie des zeitlichen Burstpulsabstandes
- Die Zielstellung dieser Arbeit besteht darin, einen optischen Aufbau zu realisieren, welcher mit möglichst wenigen optischen Komponenten einen einzelnen UKP - Laserpuls in einen 2 - Puls bzw. 4 - Puls Burst (dargestellt in Abbildung 3.1) zerlegt und anfängliche Untersuchungen zum Abtragsverhalten unter Verwendung des Burstmodus durchzuführen. Der zeitliche Burstpulsabstand zwischen jedem dieser Burstpulse soll dabei maximal 2 ns für den 2 - Puls Burst und 1 ns für den 4 - Puls Burst betragen, stufenlos einstellbar und zwischen jedem Burstpuls in einem Burst gleich sein. Das Einstellen der zeitlichen Burstpulsabstände wird für den 2 - Puls bzw. 4 - Puls Burst über unabhängig voneinander arbeitende Translationsachsen realisiert. Mithilfe dieses Aufbaus soll das Abtragsverhalten von UKP - Laserstrahlung eines Ti:Sa - Lasers mit einer Pulsdauer von ca. 150 fs und einer stufenlos regelbaren Pulsenergie von bis zu 1 mJ bei einer Repetitionsrate der Grundfrequenz von 1 kHz und einer mittleren Wellenlänge von 780nm auf Silizium (111) durch die Variation von der zeitlichen Einbringung der Energie untersucht werden.
Author: | Philipp Rebentrost |
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Advisor: | Steffen Weißmantel, Andy Engel |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Year of Completion: | 2021 |
Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2023/04/20 |
GND Keyword: | Laserbearbeitung; Ultrakurzer Lichtimpuls |
Institutes: | Ingenieurwissenschaften |
DDC classes: | 671 Laserbearbeitung |
Open Access: | Innerhalb der Hochschule |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |