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Untersuchungen zur ultraschnellen Ellipsometrie von Laserprozessen
- Diese Arbeit stellt die Konstruktion, den Aufbau und die Kalibrierung eines automatisierten Pump-Probe-Aufbaus dar, mit dem örtlich, zeitlich und spektroskopisch aufgelöste Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie möglich ist. Zur Validierung werden die Ergebnisse des Pump-Probe-Ellipsometers für Brechzahl, Extinktionskoeffizient und Schichtdicke eines Materials bei Raumtemperatur mit den Ergebnissen eines kommerziellen Ellipsometers verglichen. ErsteMessungen der Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie werden durchgeführt und die Ergebnisse diskutiert.
Author: | Theo Pflug |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-100328 |
Advisor: | Alexander Horn, Markus Olbrich |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Year of Completion: | 2017 |
Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2019/01/21 |
GND Keyword: | Ellipsometrie |
Institutes: | Ingenieurwissenschaften |
DDC classes: | 620.11295 Ellipsometrie |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |