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Geometrische und mikrostrukturelle Bewertung von strukturierten Sägedrähten zur Herstellung von Siliziumwafern

Geometrical and mikrostructural evaluation of structured sawing wires for production of siliconwafers

  • In der vorliegenden Masterarbeit wird ein Messaufbau entwickelt, der es ermöglicht,einen mit zwei verschiedenen sinusförmigen Wellenmustern geprägten Draht in einem Messsystem gemeinsam mit einer Kraftmessdose einzuspannen. Weiterhin wird ein Python-Programm erstellt, dass es ermöglicht die Messdaten vollautomatisch auszuwerten und den Drahtdurchmesser sowie die bei der Prägung eingebrachten Wellenlängen und Amplituden zu bestimmen. Der Durchmesser wird durch eine Näherung von Kreisen an Querschnitte des Drahts bestimmt. Die Parameter der Sinusfunktionen berechnet eine Fourieranalyse in zwei Ebenen über die Mittelpunkte der Kreise. Abschließend wird das Programm mit simulierten Daten getestet und eine Messreihe ausgewertet, die das Verhalten der Parameter des Drahts bei unterschiedlichen Zugkräften analysiert.

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Metadaten
Author:Holger Uhle
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2014
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2017/01/17
GND Keyword:Messung , Silicium , Wafer , Drahtsäge
Institutes:01 Elektro- und Informationstechnik
Access Rights:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG