kein Abstract vorhanden

Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem selektiven rückseitigen Abtrag von dünnen Aluminiumschichten (10 – 50 nm) auf Quarzglas mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung der Wellenlänge von 1028 nm und Pulsdauern von 0,2 – 10 ps. Die Einflüsse von Prozess- und Probenparametern auf die Abtragsschwellen und Inkubationskoeffizienten werden bestimmt. Ebenso wird ein Vergleich von Schwellfluenz und Inkubationskoeffizienten zwischen vorder- und rückseitigem Abtrag gegeben. Hierfür werden die Werte des vorderseitigen Abtrag aus vorhergehenden Untersuchungen verwendet. Neben experimentellen Untersuchungen werden Berechnungen zur Bestimmung der theoretischen Schwellfluenzen durchgeführt. Mithilfe dieser Untersuchungen soll die Qualität der Strukturierung von Aluminiumschichten verbessert werden.

In der Bachelorarbeit wird Funktionsmuster für ATLAS-Weichenansteuerung über Infrarot-Schnittstelle beschrieben. Hierzu werden die geeignete Hardware für Aufbau und Testen des Funktionsmusters ausgewählt, und den Funktionsnachweis wird IR-Schnittstelle und die Treiberplatine zum Testen angefertigt. Außerdem werden die erforderliche Software entwickelt, um die Weiche zu steuern.

Diese Bachelorarbeit befasst sich hauptsächlich mit dem Prinzip des PAV-Tests und der Programmierlogik. Aufgrund der Vielzahl an internen Funktionsmodulen der Steuergeräte, werden in diesem Bachelorarbeit nur repräsentative Module zur Vorführung ausgewählt

Das Ziel der geplanten Arbeit war es, die Qualität der mit diesem Verfahren, Mirco -Cladding, generierten Schichten zu untersuchen um die optimalen Bearbeitungsparameter ermitteln zu können. Dabei wird noch die Ergebnisse der Schichten zusammenfasst und noch die Vorschläge und Ausblick zu gegeben.