671 Metallverarbeitung und Rohprodukte aus Metall
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Der Gegenstand der Arbeit ist, Möglichkeiten zur Ablösung konventioneller Siebdruckprozesse durch ein Mikrodosierverfahren zu untersuchen. Dabei werden Leiterbahnen für die Vorderseitenstruktur und Durchkontaktierungen für rückseitenkontaktierte Siliziumsolarzellen, unter Einsatz von Silberpasten, geschaffen. Es konnten Leiterbahndurchmesser von ca. 80 µm bei Bahnhöhen von 10-15 µm erreicht werden. Durch einen sich anschließenden Ofenprozess ergaben sich Bahnwiderstände von 230 m /cm. Ein ohmsches Kontaktverhalten der Leiterbahnen zum Silizium konnte durch eine Antireflexschicht hindurch erzeugt werden. Die Möglichkeit der Erzeugung einer Durchkontaktierung der Vorderseitenkontakte auf die Zellrückseite mittels Durchgangsbohrungen
wurde nachgewiesen. Desweiteren wurde untersucht, inwieweit der Ofenprozess, der eine Leitfähigkeit der Vorderseitenstruktur hervorruft, durch einen Laserprozess abgelöst werden kann. Versuche zeigten, dass ein Versintern der Leiterbahnstrukturen mittels
Laser möglich ist. Aus Bahnbreiten von 150 µm und Bahnhöhen von 25 µm ergaben sich Leiterbahnwiderstände von 270 m /cm.
In dieser Masterarbeit wird die praktische Umsetzbarkeit eines Konzeptes zur Grabenstrukturierung in Dünnschichtsolarzellen untersucht. Im konkreten handelt es sich um den Ersten von vier Strukturierungsschritten (P1). Es werden die speziellen Anforderungen an den Laserprozess und das Bearbeitungskonzept beschrieben. Ausgehend von Vorversuchen mit verschiedenen Lasergeräten werden praktische Versuche durchgeführt und entsprechend den Anforderungen ausgewertet. Daraus werden die Parameter für ein optimales Ergebnis bestimmt.