671 Metallverarbeitung und Rohprodukte aus Metall
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Ziel der Bachelorarbeit ist es, zu überprüfen welchen Einfluss verschiedene Anodensysteme auf die galvanische Abscheidung von Zinn haben. Durch den Einsatz von inerten Anoden soll das vorliegende Verfahren optimiert werden. Es werden Versuche durchgeführt, zum Vergleich von Zinnelektrolyten welche mit löslichen Anoden und mit inerten Anoden betrieben werden. Dabei wird vor allem auf die Bildung von Zinn(IV) geachtet. Im Anschluss werden die Versuche ausgewertet und die Ergebnisse bewertet
In dieser Arbeit werden die Ergebnisse von grundlegenden Untersuchungen zur Erzeugung von metallischen Schichten und Nanometerschichtstapeln mittels Laserpulsabscheidungsverfahren (PLD) vorgestellt. Für die Erzeugung des schichtbildenden Teilchenstromes durch Ablation der Festkörpertargets wurde ein KrF-Excimerlaser mit einer Wellenlänge von 248 nm verwendet. Durch Variation der Abscheidungsparameter Laserpulsfluenz und Laserstrahlquerschnitt wurden die Oberflächeneigenschaften von dünnen Metallschichten für die Erzeugung von spintronischen Schichtstapeln optimiert.
Die Abhängigkeit der materialspezifischen Schichteigenschaften Abtragsrate pro Laserpuls, Schichtaufwachsrate, Oberflächenrauigkeit, Partikulatflächendichte, Schichtdickenverteilung, Schichtdickenhomogenität und Mikrostruktur von den Abscheidungsparametern werden vorgestellt. Unter Nutzung der optimierten Prozessparameter konnten spintronische Metallschichtstapel hergestellt werden. Für die Verbesserung der Schichtdickenhomogenität von laserpulsablatierten Schichten wurde ein xy-Substrat-bewegungssystem konzipiert und dessen technische Realisierung verwirklicht.