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Untersuchungen zur ultraschnellen Ellipsometrie von Laserprozessen

  • Diese Arbeit stellt die Konstruktion, den Aufbau und die Kalibrierung eines automatisierten Pump-Probe-Aufbaus dar, mit dem örtlich, zeitlich und spektroskopisch aufgelöste Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie möglich ist. Zur Validierung werden die Ergebnisse des Pump-Probe-Ellipsometers für Brechzahl, Extinktionskoeffizient und Schichtdicke eines Materials bei Raumtemperatur mit den Ergebnissen eines kommerziellen Ellipsometers verglichen. ErsteMessungen der Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie werden durchgeführt und die Ergebnisse diskutiert.
Metadaten
Author:Theo Pflug
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-100328
Advisor:Alexander Horn, Markus Olbrich
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2017
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2019/01/21
GND Keyword:Ellipsometrie
Institutes:Ingenieurwissenschaften
Dewey Decimal Classification:620.11295 Ellipsometrie
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG